半導(dǎo)體集成電路(IC)制造是高科技產(chǎn)業(yè)的核心，涉及光刻、刻蝕、沉積等多道工藝，均在高度潔凈的環(huán)境中進(jìn)行。設(shè)備如光刻機(jī)和刻蝕機(jī)依賴超純氣體(如氮氣、氬氣)用于冷卻、吹掃或反應(yīng)氣體供應(yīng)，以確保電路圖案的精確性和可靠性。任何氣體中的微粒污染都可能導(dǎo)致電路短路、缺陷或良率下降，因此氣體純度至關(guān)重要。半導(dǎo)體集成電路設(shè)備通常集成在閥歧管箱或氣柜中，要求氣體輸送系統(tǒng)緊湊、高效。

為什么使用過濾器

在半導(dǎo)體集成電路制造中，氣體管路輸送的氣體即使經(jīng)過初步凈化，仍可能攜帶亞微米級顆粒、水分或油霧。這些污染物會沉積在晶圓表面，引起器件故障。例如，在光刻環(huán)節(jié)，氣體中的微?？赡苷趽踝贤夤?，導(dǎo)致圖案失真;在刻蝕過程中，污染物可能干擾化學(xué)反應(yīng)，造成過刻蝕或欠刻蝕。使用過濾器能有效攔截0.003μm以上的顆粒，將氣體雜質(zhì)含量降至5ppb以下，保障集成電路的微型化和高集成度需求。文檔指出，過濾器是超高純氣體系統(tǒng)的首選，可避免供應(yīng)鏈困擾和技術(shù)難題。

過濾器介紹

恒歌HENGKO的SF系列IGS面板專用過濾器專為半導(dǎo)體集成電路設(shè)備設(shè)計，兼容C型和W型密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾。該過濾器采用全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，支持高達(dá)100slpm的大流量，適用于集成氣體輸送與控制系統(tǒng)。其設(shè)計符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，便于模塊化安裝，如用于閥歧管箱或氣柜的在線過濾。SF系列在潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試和包裝，確保9-LRV清潔度，助力客戶提高產(chǎn)品競爭力。

過濾器特點

●?結(jié)構(gòu)材料：整體316L不銹鋼電解拋光外殼，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕，工作溫度范圍-28°C至+482°C，工作壓力可達(dá)414bar。

●?過濾性能：超高顆粒攔截效率，出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb，通過100%完整性測試和氦氣檢漏測試。

●?設(shè)計優(yōu)勢：小型化緊湊結(jié)構(gòu)，節(jié)省空間;采用機(jī)械密封，與介質(zhì)無焊接，安裝檢修便捷;優(yōu)異的氣體置換和解吸特性，減少壓損。

●?定制服務(wù)：可提供OEM定制，按需求設(shè)計過濾精度和尺寸，如適配不同氣流速率。

●?技術(shù)參數(shù)顯示，其流量壓差曲線平滑，確保穩(wěn)定運行。外形尺寸多樣，支持靈活集成。

產(chǎn)品應(yīng)用

SF系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造環(huán)節(jié)，如光刻設(shè)備的氣體吹掃系統(tǒng)、刻蝕設(shè)備的反應(yīng)氣體供應(yīng)線，以及晶圓廠的氣體分配歧管。在LED、光伏和MEMS設(shè)備中，它用于保護(hù)敏感組件，延長設(shè)備壽命。案例包括集成電路生產(chǎn)線的高純氮氣過濾，有效預(yù)防微粒污染，提高良率至99.99%以上。文檔指出，該過濾器是半導(dǎo)體行業(yè)實現(xiàn)超高純氣體的關(guān)鍵，助力科技未來發(fā)展。