集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心基石，通過在半導(dǎo)體晶圓上集成大量晶體管、電阻等元器件，實現(xiàn)信號處理、數(shù)據(jù)存儲等核心功能，廣泛應(yīng)用于手機、電腦、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備等終端產(chǎn)品。其制造過程涉及多道精密工序，對生產(chǎn)環(huán)境和物料純度要求極高。

使用過濾器的核心原因

集成電路制造需依賴高純 / 超純工藝氣體(如硅烷、氨氣)，氣體在輸送過程中易混入微粒、金屬雜質(zhì)等污染物。這些雜質(zhì)會導(dǎo)致晶圓表面形成缺陷、元器件性能失效，直接降低產(chǎn)品良率，因此必須通過專用過濾器攔截雜質(zhì)，保障氣體潔凈度。

過濾器介紹

恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器，專為集成電路生產(chǎn)的超高純氣體在線過濾設(shè)計。全 316L 不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)結(jié)構(gòu)，過濾精度高達(dá) 0.003μm，可實現(xiàn) 99.9999999%(9LRV)的顆粒攔截效率。

過濾器核心特點

●?整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，耐高溫(惰性氣體 400-500℃)、耐高壓(最大進氣壓力 207bar)、耐腐蝕。

●?高通量設(shè)計搭配低阻力特性，確保氣體輸送效率，不影響生產(chǎn)節(jié)拍。

●?100% 氮氣檢漏測試與完整性測試，無泄漏風(fēng)險，符合潔凈室生產(chǎn)要求。

●?出口氣體各雜質(zhì)含量小于 5ppb，下游潔凈度≤0.03particles/liter(≥0.01μm)。

產(chǎn)品應(yīng)用

適用于集成電路生產(chǎn)中高純氣體輸送管路，覆蓋晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)，可匹配硅烷、氨氣、氮氣等多種工藝氣體的過濾需求，助力提升芯片良率與可靠性。