硅晶圓工藝特氣管道系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造的 “氣體輸送動(dòng)脈”，負(fù)責(zé)將光刻、蝕刻、沉積等關(guān)鍵制程所需的特種氣體(如 Cl2、NH3、SiH4 等)精準(zhǔn)輸送至反應(yīng)腔室，直接決定晶圓圖案精度與成品良率，對氣體純度要求達(dá) ppb 級(jí)以下。?

1、為什么需要使用過濾器??

硅晶圓制程中，哪怕 0.1μm 的微粒、微量油霧或碳?xì)浠衔?，都可能?dǎo)致晶圓缺陷、光刻膠失效或設(shè)備腔室污染，造成巨額生產(chǎn)成本損失。特氣管道在安裝、輸送過程中易殘留塵埃、鐵銹，且特氣本身可能攜帶雜質(zhì)，必須通過專業(yè)過濾器實(shí)現(xiàn)深度凈化。?

2、過濾器介紹?

恒歌 HF 系列高壓氣體專用過濾器，專為硅晶圓工藝特氣管道系統(tǒng)量身打造，采用 316L 不銹鋼一體結(jié)構(gòu)，50Mpa 設(shè)計(jì)壓力適配特氣高壓輸送場景，兼具高強(qiáng)度與輕量化優(yōu)勢?？筛咝V除氣體中 0.003μm 以上的微粒、油霧及碳?xì)浠衔?，濾芯經(jīng) 100% 完整性測試與氨氣泄露檢測，確保特氣純度符合半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)。?

3、過濾器特點(diǎn)?

??整體 316L 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕性強(qiáng)，適配各類腐蝕性特氣?

??輕量化、小型化設(shè)計(jì)，螺紋連接節(jié)省安裝空間，兼容 C/W 型密封規(guī)格?

??耐高溫(600℃)、耐高壓(50Mpa)，適配極端制程環(huán)境?

??過濾效率達(dá) 99.999%，不易堵塞，保障氣體輸送穩(wěn)定性?

??濾芯可快速更換，安裝檢修無需復(fù)雜工具?

??100% 完整性測試 + 氨氣泄露檢測，零泄漏風(fēng)險(xiǎn)?

4、產(chǎn)品應(yīng)用?

半導(dǎo)體硅晶圓制造(28nm 及以下先進(jìn)制程)、LED 芯片制造、半導(dǎo)體封裝測試等領(lǐng)域的特氣管道系統(tǒng)凈化。?

5、常見問答?

Q：過濾精度能否滿足硅晶圓先進(jìn)制程要求??

A：支持 0.003μm~120μm 多規(guī)格濾芯，可實(shí)現(xiàn) ppb 級(jí)雜質(zhì)去除，完全適配 7nm/5nm 制程特氣凈化需求。?

Q：能否兼容含氟、含氯等腐蝕性特氣??

A：316L 不銹鋼結(jié)構(gòu) + 專用密封材質(zhì)，可安全適配 HF、Cl2 等強(qiáng)腐蝕性特氣，無材質(zhì)反應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)。?

Q：維護(hù)周期多久?更換濾芯是否影響生產(chǎn)??

A：常規(guī)使用下濾芯壽命 6~12 個(gè)月，快拆式設(shè)計(jì)可在 30 分鐘內(nèi)完成更換，建議配備備用濾芯實(shí)現(xiàn)無縫切換。?

Q：過濾器會(huì)產(chǎn)生氣體壓降嗎??

A：優(yōu)化流道設(shè)計(jì)，壓降≤0.05Mpa，不影響特氣輸送流速與系統(tǒng)壓力穩(wěn)定性。?

6、選型指引?

若您不確定濾芯精度、接口規(guī)格或特氣適配性，歡迎聯(lián)系我們，提供制程參數(shù)即可獲得定制化選型方案!