在半導(dǎo)體大宗氣體輸送環(huán)節(jié)，“高通量” 與 “高純凈” 似乎是一對(duì)天然矛盾：既要保證氣體快速流通以提升生產(chǎn)效率，又要確保 0.003μm 級(jí)的顆粒攔截率。而恒歌 BF 系列半導(dǎo)體微電子超高純氣體過(guò)濾器，通過(guò)創(chuàng)新設(shè)計(jì)讓這一矛盾迎刃而解。

作為專為大宗氣體過(guò)濾設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，BF 系列的核心優(yōu)勢(shì)在于 “高效流通 + 精準(zhǔn)攔截” 的雙重能力。其采用的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)結(jié)構(gòu)，擴(kuò)大了過(guò)濾接觸面積 —— 相比傳統(tǒng)過(guò)濾器，相同時(shí)間內(nèi)可通過(guò)的氣體流量提升 30% 以上，卻能將阻損控制在極低水平，避免因壓力損失影響氣體輸送穩(wěn)定性。這種設(shè)計(jì)背后，是對(duì)半導(dǎo)體制造 “效率與質(zhì)量并重” 需求的深刻理解。

材質(zhì)選擇上，BF 系列半導(dǎo)體微電子超高純氣體過(guò)濾器堅(jiān)持全 316L 不銹鋼精密打造。這種材質(zhì)經(jīng)過(guò)電解拋光處理，表面光滑度達(dá)到潔凈室級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，既能避免氣體流經(jīng)時(shí)產(chǎn)生微粒脫落，又能耐受工藝中常見(jiàn)的腐蝕性氣體(如氨氣、氟氣)，同時(shí)適應(yīng)高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境 —— 即便是在 300℃以上的工藝場(chǎng)景中，仍能保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不會(huì)因熱脹冷縮出現(xiàn)密封失效。

為確保 “超高純” 承諾，BF 系列從生產(chǎn)到出廠全程可控：在潔凈室環(huán)境內(nèi)完成制造、測(cè)試與包裝，避免外界污染;出廠前通過(guò) 100% 完整性測(cè)試和氨氣檢漏測(cè)試，確保無(wú)泄漏風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于需要連續(xù)生產(chǎn)的半導(dǎo)體工廠而言，這種 “即裝即用” 的可靠性，意味著更少的停機(jī)維護(hù)和更穩(wěn)定的工藝表現(xiàn)。

從 8 英寸到 12 英寸晶圓廠，BF 系列已成為大宗氣體過(guò)濾的優(yōu)選方案 —— 它不僅是一款過(guò)濾器，更是半導(dǎo)體制造中 “穩(wěn)定與純凈” 的雙重保障。