電子特氣管道系統(tǒng)是半導(dǎo)體、顯示面板、電子元器件等高端電子制造業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施，負(fù)責(zé)輸送光刻氣、蝕刻氣、摻雜氣等特種氣體，其核心要求是無泄漏、無雜質(zhì)、高純凈，直接影響電子元件的性能與良率。?

1. 為何需要使用過濾器？?

電子特氣本身可能含微量微粒、金屬離子雜質(zhì)，管道輸送過程中也可能產(chǎn)生氧化碎屑、密封件磨損顆粒；這些污染物會導(dǎo)致芯片短路、顯示面板像素缺陷、電子元器件性能衰減，過濾器是電子特氣管道系統(tǒng)中不可或缺的 “純度保障關(guān)卡”。?

2. 過濾器介紹?

恒歌 TF 系列電子特氣管道系統(tǒng)專用過濾器，專為電子特氣的高純凈、強(qiáng)腐蝕特性設(shè)計(jì)，采用 316L 不銹鋼鍛造結(jié)構(gòu)，搭配特種密封材質(zhì)，精準(zhǔn)清除超純氣流中的微粒、金屬雜質(zhì)，安裝簡便且密封性能優(yōu)異，避免特氣泄漏與二次污染。?

3. 過濾器特點(diǎn)?

? 316L 不銹鋼全結(jié)構(gòu) + 耐腐蝕密封，適配氯氣、氟化氫、磷化氫等強(qiáng)腐蝕性特氣?

? 超高密封性能，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，符合電子特氣輸送安全標(biāo)準(zhǔn)?

? 低流阻設(shè)計(jì)，不影響特氣輸送流速，保障管道系統(tǒng)流量穩(wěn)定?

? 過濾精度覆蓋 0.003μm-5μm，支持定制化選型?

? 100% 完整性測試 + 氨氣檢漏，滿足 ISO 14644-1 Class 1 潔凈標(biāo)準(zhǔn)?

? 可重復(fù)使用，更換濾芯即可，降低使用成本?

4. 產(chǎn)品應(yīng)用?

半導(dǎo)體晶圓制造特氣輸送管道、LCD/OLED 顯示面板特氣系統(tǒng)、電子元器件生產(chǎn)特氣管道、光伏電池特氣輸送系統(tǒng)、半導(dǎo)體封裝測試特氣管道?

5. 常見問答?

Q：過濾器能否兼容所有電子特氣？?

A：適配 95% 以上常用電子特氣，包括惰性氣體、腐蝕性氣體、易燃易爆氣體，特殊氣體可提供定制化材質(zhì)方案。?

Q：濾芯的使用壽命是多久？?

A：常規(guī)使用條件下，濾芯壽命為 8-12 個月，具體需根據(jù)特氣純度與使用流量調(diào)整。?

Q：安裝是否需要專業(yè)技術(shù)人員？?

A：無需！采用快裝式結(jié)構(gòu)，僅需氣路對接與螺母緊固，普通操作人員即可完成安裝。?

Q：是否符合半導(dǎo)體行業(yè) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)？?

A：完全符合 SEMI F20、SEMI F37 等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，可直接應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠特氣系統(tǒng)。?

6. 選型指引?

如果您不確定特氣類型對應(yīng)的過濾器材質(zhì)、過濾精度或安裝規(guī)格，歡迎聯(lián)系我們，為您提供精準(zhǔn)選型方案！?