深圳恒歌DF系列高溫超純氣體擴(kuò)散器，專(zhuān)為半導(dǎo)體高溫制程中的真空腔體放氣需求打造。這款產(chǎn)品憑借全316L不銹鋼的耐高溫特性與0.003μm的精密過(guò)濾能力，在400℃高溫環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定性能，既實(shí)現(xiàn)超純氣體的均勻擴(kuò)散，又杜絕顆粒污染，成為氣相沉積、高溫蝕刻等嚴(yán)苛工藝的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

●?高溫穩(wěn)定運(yùn)行：全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，可耐受 400℃高溫，適配各類(lèi)高溫工藝場(chǎng)景。

●?超純氣體保障：過(guò)濾精度達(dá) 0.003μm，配合潔凈室生產(chǎn)流程，確保氣體純度。

●?防湍流擴(kuò)散設(shè)計(jì)：融合擴(kuò)散器氣流特性，引導(dǎo)氣體平穩(wěn)流動(dòng)，避免腔體污染。

●?全材質(zhì)防腐：耐酸堿與腐蝕性工藝氣體，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。

●?定制化適配：可根據(jù)腔體尺寸與安裝空間個(gè)性化設(shè)計(jì)，提升適配性。

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應(yīng)用場(chǎng)景

應(yīng)用于半導(dǎo)體高溫工藝的真空腔體系統(tǒng)：在 CVD 化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，保障高溫下工藝氣體的超純與均勻擴(kuò)散，提升薄膜質(zhì)量;在高溫退火爐的真空排氣環(huán)節(jié)，防止顆粒污染晶圓表面;在離子注入后的真空釋壓過(guò)程中，維持腔室潔凈環(huán)境。同時(shí)適用于光伏行業(yè)的高溫鍍膜設(shè)備及半導(dǎo)體封裝的高溫固化腔體，為各類(lèi)高溫真空工藝提供可靠的氣體擴(kuò)散與過(guò)濾保障。